一、三坐標(biāo)測量機(jī)的組成及工作原理

　　（一）CMM的組成

　　三坐標(biāo)測量機(jī)是典型的機(jī)電一體化設(shè)備，它由機(jī)械系統(tǒng)和電子系統(tǒng)兩大部分組成。

　　（1）機(jī)械系統(tǒng)：一般由三個正交的直線運動軸構(gòu)成。如圖9-1所示結(jié)構(gòu)中，X向?qū)к壪到y(tǒng)裝在工作臺上，移動橋架橫梁是Y向?qū)к壪到y(tǒng)，Z向?qū)к壪到y(tǒng)裝在中央滑架內(nèi)。三個方向軸上均裝有光柵尺用以度量各軸位移值。人工驅(qū)動的手輪及機(jī)動、數(shù)控驅(qū)動的電機(jī)一般都在各軸附近。用來觸測被檢測零件表面的測頭裝在Z軸端部。

　　（2）電子系統(tǒng)：一般由光柵計數(shù)系統(tǒng)、測頭信號接口和計算機(jī)等組成，用于獲得被測坐標(biāo)點數(shù)據(jù)，并對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。

　　（二）CMM的工作原理

　　三坐標(biāo)測量機(jī)是基于坐標(biāo)測量的通用化數(shù)字測量設(shè)備。它首先將各被測幾何元素的測量轉(zhuǎn)化為對這些幾何元素上一些點集坐標(biāo)位置的測量，在測得這些點的坐標(biāo)位置后，再根據(jù)這些點的空間坐標(biāo)值，經(jīng)過數(shù)學(xué)運算求出其尺寸和形位誤差。如圖9-2所示，要測量工件上一圓柱孔的直徑，可以在垂直于孔軸線的截面I內(nèi)，觸測內(nèi)孔壁上三個點（點1、2、3），則根據(jù)這三點的坐標(biāo)值就可計算出孔的直徑及圓心坐標(biāo)OI；如果在該截面內(nèi)觸測更多的點（點1，2，…，n，n為測點數(shù)），則可根據(jù)最小二乘法或最小條件法計算出該截面圓的圓度誤差；如果對多個垂直于孔軸線的截面圓（I，II，…，m，m為測量的截面圓數(shù)）進(jìn)行測量，則根據(jù)測得點的坐標(biāo)值可計算出孔的圓柱度誤差以及各截面圓的圓心坐標(biāo)，再根據(jù)各圓心坐標(biāo)值又可計算出孔軸線位置；如果再在孔端面A上觸測三點，則可計算出孔軸線對端面的位置度誤差。由此可見，CMM的這一工作原理使得其具有很大的通用性與柔性。從原理上說，它可以測量任何工件的任何幾何元素的任何參數(shù)。

　　二、三坐標(biāo)測量機(jī)的分類

　　（一）按CMM的技術(shù)水平分類

　　1．?dāng)?shù)字顯示及打印型

　　這類CMM主要用于幾何尺寸測量，可顯示并打印出測得點的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，但要獲得所需的幾何尺寸形位誤差，還需進(jìn)行人工運算，其技術(shù)水平較低，目前已基本被陶汰。

　　2．帶有計算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理型

　　這類CMM技術(shù)水平略高，目前應(yīng)用較多。其測量仍為手動或機(jī)動，但用計算機(jī)處理測量數(shù)據(jù)，可完成諸如工件安裝傾斜的自動校正計算、坐標(biāo)變換、孔心距計算、偏差值計算等數(shù)據(jù)處理工作。

　　3．計算機(jī)數(shù)字控制型

　　這類CMM技術(shù)水平較高，可像數(shù)控機(jī)床一樣，按照編制好的程序自動測量。

　　（二）按CMM的測量范圍分類

　　1．小型坐標(biāo)測量機(jī)

　　這類CMM在其最長一個坐標(biāo)軸方向（一般為X軸方向）上的測量范圍小于500mm，主要用于小型精密模具、工具和刀具等的測量。

　　2．中型坐標(biāo)測量機(jī)

　　這類CMM在其最長一個坐標(biāo)軸方向上的測量范圍為500～2000mm，是應(yīng)用最多的機(jī)型，主要用于箱體、模具類零件的測量。

　　3．大型坐標(biāo)測量機(jī)

　　這類CMM在其最長一個坐標(biāo)軸方向上的測量范圍大于2000mm，主要用于汽車與發(fā)動機(jī)外殼、航空發(fā)動機(jī)葉片等大型零件的測量。

　　（三）按CMM的精度分類

　　1．精密型CMM

　　其單軸最大測量不確定度小于1×10－6L（L為最大量程，單位為mm），空間最大測量不確定度小于（2～3）×10－6L，一般放在具有恒溫條件的計量室內(nèi)，用于精密測量。

　　2．中、低精度CMM

　　低精度CMM的單軸最大測量不確定度大體在1×10－4L左右，空間最大測量不確定度為（2～3）×10－4L，中等精度CMM的單軸最大測量不確定度約為1×10－5L，空間最大測量不確定度為（2～3）×10－5L。這類CMM一般放在生產(chǎn)車間內(nèi)，用于生產(chǎn)過程檢測。

　　（四）按CMM的結(jié)構(gòu)形式分類

　　按照結(jié)構(gòu)形式，CMM可分為移動橋式、固定橋式、龍門式、懸臂式、立柱式等，見下節(jié)。

　　第二節(jié)三坐標(biāo)測量機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)

　　一、結(jié)構(gòu)形式

　　三坐標(biāo)測量機(jī)是由三個正交的直線運動軸構(gòu)成的，這三個坐標(biāo)軸的相互配置位置（即總體結(jié)構(gòu)形式）對測量機(jī)的精度以及對被測工件的適用性影響較大。

　　二、工作臺

　　早期的三坐標(biāo)測量機(jī)的工作臺一般是由鑄鐵或鑄鋼制成的，但近年來，各生產(chǎn)廠家已廣泛采用花崗巖來制造工作臺，這是因為花崗巖變形小、穩(wěn)定性好、耐磨損、不生銹，且價格

　　低廉、易于加工。有些測量機(jī)裝有可升降的工作臺，以擴(kuò)大Z軸的測量范圍，還有些測量機(jī)備有旋轉(zhuǎn)工作臺，以擴(kuò)大測量功能。

　　三、導(dǎo)軌

　　導(dǎo)軌是測量機(jī)的導(dǎo)向裝置，直接影響測量機(jī)的精度，因而要求其具有較高的直線性精度。在三坐標(biāo)測量機(jī)上使用的導(dǎo)軌有滑動導(dǎo)軌、滾動導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，但常用的為滑動導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，滾動導(dǎo)軌應(yīng)用較少，因為滾動導(dǎo)軌的耐磨性較差，剛度也較滑動導(dǎo)軌低。在早期的三坐標(biāo)測量機(jī)中，許多機(jī)型采用的是滑動導(dǎo)軌。滑動導(dǎo)軌精度高，承載能力強(qiáng)，但摩擦阻力大，易磨損，低速運行時易產(chǎn)生爬行，也不易在高速下運行，有逐步被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢。目前，多數(shù)三坐標(biāo)測量機(jī)已采用空氣靜壓導(dǎo)軌（又稱為氣浮導(dǎo)軌、氣墊導(dǎo)軌），它具有許多優(yōu)點，如制造簡單、精度高、摩擦力極小、工作平穩(wěn)等。

　　氣浮技術(shù)的發(fā)展使三坐標(biāo)測量機(jī)在加工周期和精度方面均有很大的突破。目前不少生產(chǎn)廠在尋找高強(qiáng)度輕型材料作為導(dǎo)軌材料，有些生產(chǎn)廠已選用陶瓷或高膜量型的碳素纖維作為移動橋架和橫梁上運動部件的材料。另外，為了加速熱傳導(dǎo)，減少熱變形，ZEISS公司采用帶涂層的抗時效合金來制造導(dǎo)軌，使其時效變形極小且使其各部分的溫度更加趨于均勻一致，從而使整機(jī)的測量精度得到了提高，而對環(huán)境溫度的要求卻又可以放寬些。

　　第三節(jié)三坐標(biāo)測量機(jī)的測量系統(tǒng)

　　三坐標(biāo)測量機(jī)的測量系統(tǒng)由標(biāo)尺系統(tǒng)和測頭系統(tǒng)構(gòu)成，它們是三坐標(biāo)測量機(jī)的關(guān)鍵組成部分，決定著CMM測量精度的高低。

　　一、標(biāo)尺系統(tǒng)

　　標(biāo)尺系統(tǒng)是用來度量各軸的坐標(biāo)數(shù)值的，目前三坐標(biāo)測量機(jī)上使用的標(biāo)尺系統(tǒng)種類很多，它們與在各種機(jī)床和儀器上使用的標(biāo)尺系統(tǒng)大致相同，按其性質(zhì)可以分為機(jī)械式標(biāo)尺系統(tǒng)（如精密絲杠加微分鼓輪，精密齒條及齒輪，滾動直尺）、光學(xué)式標(biāo)尺系統(tǒng)（如光學(xué)讀數(shù)刻線尺，光學(xué)編碼器，光柵，激光干涉儀）和電氣式標(biāo)尺系統(tǒng)（如感應(yīng)同步器，磁柵）。根據(jù)對國內(nèi)外生產(chǎn)CMM所使用的標(biāo)尺系統(tǒng)的統(tǒng)計分析可知，使用最多的是光柵，其次是感應(yīng)同步器和光學(xué)編碼器。有些高精度CMM的標(biāo)尺系統(tǒng)采用了激光干涉儀。

　　二、測頭系統(tǒng)

　　（一）測頭

　　三坐標(biāo)測量機(jī)是用測頭來拾取信號的，因而測頭的性能直接影響測量精度和測量效率，沒有先進(jìn)的測頭就無法充分發(fā)揮測量機(jī)的功能。在三坐標(biāo)測量機(jī)上使用的測頭，按結(jié)構(gòu)原理可分為機(jī)械式、光學(xué)式和電氣式等；而按測量方法又可分為接觸式和非接觸式兩類。

　　1．機(jī)械接觸式測頭

　　機(jī)械接觸式測頭為剛性測頭，根據(jù)其觸測部位的形狀，可以分為圓錐形測頭、圓柱形測頭、球形測頭、半圓形測頭、點測頭、V型塊測頭等（如圖9-5所示）。這類測頭的形狀簡單，制造容易，但是測量力的大小取決于操作者的經(jīng)驗和技能，因此測量精度差、效率低。目前除少數(shù)手動測量機(jī)還采用此種測頭外，絕大多數(shù)測量機(jī)已不再使用這類測頭。

　　2．電氣接觸式測頭

　　電氣接觸式測頭目前已為絕大部分坐標(biāo)測量機(jī)所采用，按其工作原理可分為動態(tài)測頭和靜態(tài)測頭。

　　（1）動態(tài)測頭

　　測桿安裝在芯體上，而芯體則通過三個沿圓周1200分布的鋼球安放在三對觸點上，當(dāng)測桿沒有受到測量力時，芯體上的鋼球與三對觸點均保持接觸，當(dāng)測桿的球狀端部與工件接觸時，不論受到X、Y、Z哪個方向的接觸力，至少會引起一個鋼球與觸點脫離接觸，從而引起電路的斷開，產(chǎn)生階躍信號，直接或通過計算機(jī)控制采樣電路，將沿三個軸方向的坐標(biāo)數(shù)據(jù)送至存儲器，供數(shù)據(jù)處理用。

　　可見，測頭是在觸測工件表面的運動過程中，瞬間進(jìn)行測量采樣的，故稱為動態(tài)測頭，也稱為觸發(fā)式測頭。動態(tài)測頭結(jié)構(gòu)簡單、成本低，可用于高速測量，但精度稍低，而且動態(tài)測頭不能以接觸狀態(tài)停留在工件表面，因而只能對工件表面作離散的逐點測量，不能作連續(xù)的掃描測量。目前，絕大多數(shù)生產(chǎn)廠選用英國RENISHAW公司生產(chǎn)的觸發(fā)式測頭。

　　（2）靜態(tài)測頭

　　靜態(tài)測頭除具備觸發(fā)式測頭的觸發(fā)采樣功能外，還相當(dāng)于一臺超小型三坐標(biāo)測量機(jī)。測頭中有三維幾何量傳感器，在測頭與工件表面接觸時，在X、Y、Z三個方向均有相應(yīng)的位移量輸出，從而驅(qū)動伺服系統(tǒng)進(jìn)行自動調(diào)整，使測頭停在規(guī)定的位移量上，在測頭接近靜止的狀態(tài)下采集三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)，故稱為靜態(tài)測頭。靜態(tài)測頭沿工件表面移動時，可始終保持接觸狀態(tài)，進(jìn)行掃描測量，因而也稱為掃描測頭。其主要特點是精度高，可以作連續(xù)掃描，但制造技術(shù)難度大，采樣速度慢，價格昂貴，適合于高精度測量機(jī)使用。目前由LEITZ、ZEISS和KERRY等廠家生產(chǎn)的靜態(tài)測頭均采用電感式位移傳感器，此時也將靜態(tài)測頭稱為三向電感測頭。圖9-7為ZEISS公司生產(chǎn)的雙片簧層疊式三維電感測頭的結(jié)構(gòu)。

　　測頭采用三層片簧導(dǎo)軌形式，三個方向共有三層，每層由兩個片簧懸吊。轉(zhuǎn)接座17借助兩個X向片簧16構(gòu)成的平行四邊形機(jī)構(gòu)可作X向運動。該平行四邊形機(jī)構(gòu)固定在由Y向片簧1構(gòu)成的平行四邊形機(jī)構(gòu)的下方，借助片簧1，轉(zhuǎn)接座可作Y向運動。Y向平行四邊形機(jī)構(gòu)固定在由Z向片簧3構(gòu)成的平行四邊形機(jī)構(gòu)的下方，依靠它的片簧，轉(zhuǎn)接座可作Z向運動。為了增強(qiáng)片簧的剛度和穩(wěn)定性，片簧中間為金屬夾板。為保證測量靈敏、精確，片簧不能太厚，一般取0.1mm。由于Z向?qū)к壥撬桨惭b，故用三組彈簧2、14、15加以平衡。可調(diào)彈簧14的上方有一螺紋調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，通過平衡力調(diào)節(jié)微電機(jī)10轉(zhuǎn)動平衡力調(diào)節(jié)螺桿11，使平衡力調(diào)節(jié)螺母套13產(chǎn)生升降來自動調(diào)整平衡力的大小。為了減小Z向彈簧片受剪切力而產(chǎn)生變位，設(shè)置了彈簧2和15，分別用于平衡測頭Y向和X向部件的自重。

　　在每一層導(dǎo)軌中各設(shè)置有三個部件：①鎖緊機(jī)構(gòu)：如圖9-7b所示，在其定位塊24上有一凹槽，與鎖緊杠桿22上的鎖緊鋼球23精確配合，以確定導(dǎo)軌的“零位"。在需打開時，可讓電機(jī)20反轉(zhuǎn)一角度，則此時該向?qū)к壧幱谧杂蔂顟B(tài)。需鎖緊時，再使電機(jī)正轉(zhuǎn)一角度即可。②位移傳感器：用以測量位移量的大小，如圖9-7c所示，在兩層導(dǎo)軌上，一面固定磁芯27，另一面固定線圈26和線圈支架25。③阻尼機(jī)構(gòu)：用以減小高分辨率測量時外界振動的影響。如圖9-7d所示，在作相對運動的上阻尼支架28和下阻尼支架31上各固定阻尼片29和30，在兩阻尼片間形成毛細(xì)間隙，中間放入粘性硅油，使兩層導(dǎo)軌在運動時，產(chǎn)生阻尼力，避免由于片簧機(jī)構(gòu)過于靈敏而產(chǎn)生振蕩。

　　（3）光學(xué)測頭

　　在多數(shù)情況下，光學(xué)測頭與被測物體沒有機(jī)械接觸，這種非接觸式測量具有一些突出優(yōu)點，主要體現(xiàn)在：1）由于不存在測量力，因而適合于測量各種軟的和薄的工件；2）由于是非接觸測量，可以對工件表面進(jìn)行快速掃描測量；3）多數(shù)光學(xué)測頭具有比較大的量程，這是一般接觸式測頭難以達(dá)到的；4）可以探測工件上一般機(jī)械測頭難以探測到的部位。近年來，光學(xué)測頭發(fā)展較快，目前在坐標(biāo)測量機(jī)上應(yīng)用的光學(xué)測頭的種類也較多，如三角法測頭、激光聚集測頭、光纖測頭、體視式三維測頭、接觸式光柵測頭等。下面簡要介紹一下三角法測頭的工作原理。（二）測頭附件

　　為了擴(kuò)大測頭功能、提高測量效率以及探測各種零件的不同部位，常需為測頭配置各種附件，如測端、探針、連接器、測頭回轉(zhuǎn)附件等。

　　1．測端

　　對于接觸式測頭，測端是與被測工件表面直接接觸的部分。對于不同形狀的表面需要采用不同的測端。圖9-9為一些常見的測端形狀。

　　2．探針

　　探針是指可更換的測桿。在有些情況下，為了便于測量，需選用不同的探針。探針對測量能力和測量精度有較大影響，在選用時應(yīng)注意：1）在滿足測量要求的前提下，探針應(yīng)盡量短；2）探針直徑必須小于測端直徑，在不發(fā)生干涉條件下，應(yīng)盡量選大直徑探針；3）在需要長探針時，可選用硬質(zhì)合金探針，以提高剛度。若需要特別長的探針，可選用質(zhì)量較輕的陶瓷探針。

　　3．連接器

　　為了將探針連接到測頭上、測頭連接到回轉(zhuǎn)體上或測量機(jī)主軸上，需采用各種連接器。常用的有星形探針連接器、連接軸、星形測頭座等。

　　4．回轉(zhuǎn)附件

　　對于有些工件表面的檢測，比如一些傾斜表面、整體葉輪葉片表面等，僅用與工作臺垂直的探針探測將無法完成要求的測量，這時就需要借助一定的回轉(zhuǎn)附件，使探針或整個測頭回轉(zhuǎn)一定角度再進(jìn)行測量，從而擴(kuò)大測頭的功能。

　　常用的回轉(zhuǎn)附件為如圖9-11a所示的測頭回轉(zhuǎn)體。它可以繞水平軸A和垂直軸B回轉(zhuǎn)，在它的回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)中有精密的分度機(jī)構(gòu)，其分度原理類似于多齒分度盤。在靜盤中有48根沿圓周均勻分布的圓柱，而在動盤中有與之相應(yīng)的48個鋼球，從而可實現(xiàn)以7.5o為步距的轉(zhuǎn)位。它繞垂直軸的轉(zhuǎn)動范圍為360o，共48個位置，繞水平軸的轉(zhuǎn)動范圍為0o～105o，共15個位置。由于在繞水平軸轉(zhuǎn)角為0o（即測頭垂直向下）時，繞垂直軸轉(zhuǎn)動不改變測端位置，這樣測端在空間一共可有48×14＋1＝673個位置。能使測頭改變姿態(tài)，以擴(kuò)展從各個方向接近工件的能力。目前在測量機(jī)上使用較多的測頭回轉(zhuǎn)體為RENISHAW公司生產(chǎn)的各種測頭回轉(zhuǎn)體，

　　第四節(jié)三坐標(biāo)測量機(jī)的控制系統(tǒng)

　　一、控制系統(tǒng)的功能

　　控制系統(tǒng)是三坐標(biāo)測量機(jī)的關(guān)鍵組成部分之一。其主要功能是：讀取空間坐標(biāo)值，控制測量瞄準(zhǔn)系統(tǒng)對測頭信號進(jìn)行實時響應(yīng)與處理，控制機(jī)械系統(tǒng)實現(xiàn)測量所必需的運動，實時監(jiān)控坐標(biāo)測量機(jī)的狀態(tài)以保障整個系統(tǒng)的安全性與可靠性等。

　　二、控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)

　　按自動化程度分類，坐標(biāo)測量機(jī)分為手動型、機(jī)動型和CNC型。早期的坐標(biāo)測量機(jī)以手動型和機(jī)動型為主，其測量是由操作者直接手動或通過操縱桿完成各個點的采樣，然后在計算機(jī)中進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。隨著計算機(jī)技術(shù)及數(shù)控技術(shù)的發(fā)展，CNC型控制系統(tǒng)變得日益普及，它是通過程序來控制坐標(biāo)測量機(jī)自動進(jìn)給和進(jìn)行數(shù)據(jù)采樣，同時在計算機(jī)中完成數(shù)據(jù)處理。

　　1．手動型與機(jī)動型控制系統(tǒng)

　　這類控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，價格低廉，在車間中應(yīng)用較廣。這兩類坐標(biāo)測量機(jī)的標(biāo)尺系統(tǒng)通常為光柵，測頭一般采用觸發(fā)式測頭。其工作過程是：每當(dāng)觸發(fā)式測頭接觸工件時，測頭發(fā)出觸發(fā)信號，通過測頭控制接口向CPU發(fā)出一個中斷信號，CPU則執(zhí)行相應(yīng)的中斷服務(wù)程序，實時地讀出計數(shù)接口單元的數(shù)值，計算出相應(yīng)的空間長度，形成采樣坐標(biāo)值X、Y和Z，并將其送入采樣數(shù)據(jù)緩沖區(qū)，供后續(xù)的數(shù)據(jù)處理使用。

　　2．CNC型控制系統(tǒng)

　　CNC型控制系統(tǒng)的測量進(jìn)給是計算機(jī)控制的。它可以通過程序?qū)y量機(jī)各軸的運動進(jìn)行控制以及對測量機(jī)運行狀態(tài)進(jìn)行實時監(jiān)測，從而實現(xiàn)自動測量。另外，它也可以通過操縱桿進(jìn)行手工測量。CNC型控制系統(tǒng)又可分為集中控制與分布控制兩類。

　　（1）集中控制

　　集中控制由一個主CPU實現(xiàn)監(jiān)測與坐標(biāo)值的采樣，完成主計算機(jī)命令的接收、解釋與執(zhí)行、狀態(tài)信息及數(shù)據(jù)的回送與實時顯示、控制命令的鍵盤輸入及安全監(jiān)測等任務(wù)。它的運動控制是由一個獨立模塊完成的，該模塊是一個相對獨立的計算機(jī)系統(tǒng)，完成單軸的伺服控制、三軸聯(lián)動以及運動狀態(tài)的監(jiān)測。從功能上看，運動控制CPU既要完成數(shù)字調(diào)節(jié)器的運算，又要進(jìn)行插補(bǔ)運算，運算量大，其實時性與測量進(jìn)給速度取決于CPU的速度。

　　（2）分布式控制

　　分布式控制是指系統(tǒng)中使用多個CPU，每個CPU完成特定的控制，同時這些CPU協(xié)調(diào)工作，共同完成測量任務(wù)，因而速度快，提高了控制系統(tǒng)的實時性。另外，分布式控制的特點是多CPU并行處理，由于它是單元式的，故維修方便、便于擴(kuò)充。如要增加一個轉(zhuǎn)臺只需在系統(tǒng)中再擴(kuò)充一個單軸控制單元，并定義它在總線上的地址和增加相應(yīng)的軟件就可以了。

　　三、測量進(jìn)給控制

　　手動型以外的坐標(biāo)測量機(jī)是通過操縱桿或CNC程序?qū)λ欧姍C(jī)進(jìn)行速度控制，以此來控制測頭和測量工作臺按設(shè)定的軌跡作相對運動，從而實現(xiàn)對工件的測量。三坐標(biāo)測量機(jī)的測量進(jìn)給與數(shù)控機(jī)床的加工進(jìn)給基本相同，但其對運動精度、運動平穩(wěn)性及響應(yīng)速度的要求更高。三坐標(biāo)測量機(jī)的運動控制包括單軸伺服控制和多軸聯(lián)動控制。單軸伺服控制較為簡單，各軸的運動控制由各自的單軸伺服控制器完成。但當(dāng)要求測頭在三維空間按預(yù)定的軌跡相對于工件運動時，則需要CPU控制三軸按一定的算法聯(lián)動來實現(xiàn)測頭的空間運動，這樣的控制由上述單軸伺服控制及插補(bǔ)器共同完成。在三坐標(biāo)測量機(jī)控制系統(tǒng)中，插補(bǔ)器由CPU程序控制來實現(xiàn)。根據(jù)設(shè)定的軌跡，CPU不斷地向三軸伺服控制系統(tǒng)提供坐標(biāo)軸的位置命令，單軸伺服控制系統(tǒng)則不斷地跟蹤，從而使測頭一步一步地從起始點向終點運動。

　　四、控制系統(tǒng)的通信

　　控制系統(tǒng)的通信包括內(nèi)通信和外通信。內(nèi)通信是指主計算機(jī)與控制系統(tǒng)兩者之間相互傳送命令、參數(shù)、狀態(tài)與數(shù)據(jù)等，這些是通過聯(lián)接主計算機(jī)與控制系統(tǒng)的通信總線實現(xiàn)的。外通信則是指當(dāng)CMM作為FMS系統(tǒng)或CIMS系統(tǒng)中的組成部分時，控制系統(tǒng)與其它設(shè)備間的通信。目前用于坐標(biāo)測量機(jī)通信的主要有串行RS－232標(biāo)準(zhǔn)與并行IEEE－488標(biāo)準(zhǔn)。

　　第五節(jié)三坐標(biāo)測量機(jī)的軟件系統(tǒng)

　　現(xiàn)代三坐標(biāo)測量機(jī)都配備有計算機(jī)，由計算機(jī)來采集數(shù)據(jù)，通過運算輸出所需的測量結(jié)果。其軟件系統(tǒng)功能的強(qiáng)弱直接影響到測量機(jī)的功能。因此各坐標(biāo)測量機(jī)生產(chǎn)廠家都非常重視軟件系統(tǒng)的研究與開發(fā)，在這方面投入的人力和財力的比例在不斷增加。下面對在三坐標(biāo)測量機(jī)中使用的軟件作簡要介紹。

　　一、編程軟件

　　為了使三坐標(biāo)測量機(jī)能實現(xiàn)自動測量，需要事前編制好相應(yīng)的測量程序。而這些測量程序的編制有以下幾種方式。

　　（一）圖示及窗口編程方式

　　圖示及窗口編程是的方式，它是通過圖形菜單選擇被測元素，建立坐標(biāo)系，并通過“窗口"提示選擇操作過程及輸入?yún)?shù)，編制測量程序。該方式僅適用于比較簡單的單項幾何元素測量的程序編制。

　　（二）自學(xué)習(xí)編程方式

　　這種編程方式是在CNC測量機(jī)上，由操作者引導(dǎo)測量過程，并鍵入相應(yīng)指令，直到完成測量，而由計算機(jī)自動記錄下操作者手動操作的過程及相關(guān)信息，并自動生成相應(yīng)的測量程序，若要重復(fù)測量同種零件，只需調(diào)用該測量程序，便可自動完成以前記錄的全部測量過程。該方式適合于批量檢測，也屬于比較簡單的編程方式。

　　（三）脫機(jī)編程

　　這種方式是采用三坐標(biāo)測量機(jī)生產(chǎn)廠家提供的專用測量機(jī)語言在其它通用計算機(jī)上預(yù)先編制好測量程序，它與坐標(biāo)測量機(jī)的開啟無關(guān)。編制好程序后再到測量機(jī)上試運行，若發(fā)現(xiàn)錯誤則進(jìn)行修改。其優(yōu)點是能解決很復(fù)雜的測量工作，缺點是容易出錯。

　　（四）自動編程

　　在計算機(jī)集成制造系統(tǒng)中，通常由CAD/CAM系統(tǒng)自動生成測量程序。三坐標(biāo)測量機(jī)一方面讀取由CAD系統(tǒng)生成的設(shè)計圖紙數(shù)據(jù)文件，自動構(gòu)造虛擬工件，另一方面接受由CAM加工出的實際工件，并根據(jù)虛擬工件自動生成測量路徑，實現(xiàn)無人自動測量。這一過程中的測量程序是*由系統(tǒng)自動生成的。

　　二、測量軟件包

　　測量軟件包可含有許多種類的數(shù)據(jù)處理程序，以滿足各種工程需要。一般將三坐標(biāo)測量機(jī)的測量軟件包分為通用測量軟件包和專用測量軟件包。通用測量軟件包主要是指針對點、線、面、圓、圓柱、圓錐、球等基本幾何元素及其形位誤差、相互關(guān)系進(jìn)行測量的軟件包。通常各三坐標(biāo)測量機(jī)都配置有這類軟件包。專用測量軟件包是指坐標(biāo)測量機(jī)生產(chǎn)廠家為了提高對一些特定測量對象進(jìn)行測量的測量效率和測量精度而開發(fā)的各類測量軟件包。如有不少三坐標(biāo)測量機(jī)配備有針對齒輪、凸輪與凸輪軸、螺紋、曲線、曲面等常見零件和表面測量的專用測量軟件包。在有的測量機(jī)中，還配備有測量汽車車身、發(fā)動機(jī)葉片等零件的專用測量軟件包。

　　三、系統(tǒng)調(diào)試軟件

　　用于調(diào)試測量機(jī)及其控制系統(tǒng)，一般具有以下軟件。

　　（1）自檢及故障分析軟件包：用于檢查系統(tǒng)故障并自動顯示故障類別；

　　（2）誤差補(bǔ)償軟件包：用于對三坐標(biāo)測量機(jī)的幾何誤差進(jìn)行檢測，在三坐標(biāo)測量機(jī)工作時，按檢測結(jié)果對測量機(jī)誤差進(jìn)行修正；

　　（3）系統(tǒng)參數(shù)識別及控制參數(shù)優(yōu)化軟件包：用于CMM控制系統(tǒng)的總調(diào)試，并生成具有優(yōu)化參數(shù)的用戶運行文件；

　　（4）精度測試及驗收測量軟件包：用于按驗收標(biāo)準(zhǔn)測量檢具。

　　四、系統(tǒng)工作軟件

　　測量軟件系統(tǒng)必須配置一些屬于協(xié)調(diào)和輔助性質(zhì)的工作軟件，其中有些是的，有些用于擴(kuò)充功能。

　　（1）測頭管理軟件：用于測頭校準(zhǔn)、測頭旋轉(zhuǎn)控制等；

　　（2）數(shù)控運行軟件：用于測頭運動控制；

　　（3）系統(tǒng)監(jiān)控軟件：用于對系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)控（如監(jiān)控電源、氣源等）；

　　（4）編譯系統(tǒng)軟件：用此程序編譯，生成運行目標(biāo)碼；

　　（5）DMIS接口軟件：用于翻譯DMIS格式文件；

　　（6）數(shù)據(jù)文件管理軟件：用于各類文件管理；

　　（7）聯(lián)網(wǎng)通訊軟件：用于與其他計算機(jī)實現(xiàn)雙向或單向通訊。